РЕНТГЕНОВСКАЯ ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ В АТМОСФЕРЕ ОСОБО ЧИСТЫХ ИНЕРТНЫХ ГАЗОВ

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Доступ платный или только для подписчиков

Аннотация

Предложен вариант метода рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Для очистки поверхности исследуемого образца регистрацию спектра ведут при непрерывной продувке рабочей камеры спектрометра с установленным в нем образцом особо чистым инертным газом при 10–3–10–1 Па. Показано, что предложенный подход позволяет получить репрезентативные спектры поверхности образцов, свободной от адсорбированных частиц, загрязнений и примесей, без использования техники сверхвысокого вакуума и без разрушения поверхности образца; обеспечивает сравнительно быструю подготовку прибора к работе, а также возможность исследования образцов, разрушающихся в условиях сверхвысокого вакуума (кристаллогидраты, органические соединения) и при воздействии грубых методов очистки поверхности, таких как механическая чистка, значительный нагрев или ионное травление.

Об авторах

А. М. Липанов

Федеральный исследовательский центр Институт прикладной математики им. М.В. Келдыша РАН; Удмуртский федеральный исследовательский центр Уральского отделения РАН

125047 Москва, Россия; 426067 Ижевск, Россия

М. Ю. Альес

Удмуртский федеральный исследовательский центр Уральского отделения РАН

426067 Ижевск, Россия

Е. Ю. Шелковников

Удмуртский федеральный исследовательский центр Уральского отделения РАН

Email: evshelk@udman.ru
426067 Ижевск, Россия

Н. Ю. Исупов

Удмуртский федеральный исследовательский центр Уральского отделения РАН

426067 Ижевск, Россия

Н. В. Ломова

Удмуртский федеральный исследовательский центр Уральского отделения РАН

426067 Ижевск, Россия

Ф. Ф. Чаусов

Удмуртский федеральный исследовательский центр Уральского отделения РАН

426067 Ижевск, Россия

Список литературы

  1. Зигбан К., Нордлинг К., Фальман А. и др. Электронная спектроскопия. М.: Мир, 1971. 493 с.
  2. Анализ поверхности методами Оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Бриггс Д., Сих М.П. (ред.). М.: Мир, 1987. 600 с.
  3. Широбоков С.В., Русских Е.В., Исупов Н.Ю. Способ экспресс-анализа твердотельных образцов на фотоэлектронных спектрометрах. Патент РФ 2295170. 2007.
  4. Trapeznikov V.A., Shabanova I.N., Kholzakov A.V., Ponomaryov A.G. // J. Elec. Spec. Rel. Phenom. 2004. V. 137–140. P. 383–385. https://doi.org/10.1016/j.elspec.2004.02.115
  5. Shirley D.A. // Phys. Rev. 1972. V. 5. P. 4709–4714. https://doi.org/10.1103/PhysRevB.5.4709
  6. Wojdyr M. // J. Appl. Cryst. 2010. V. 43. P. 1126–1128. https://doi.org/10.1107/S0021889810030499
  7. Moulder J.F., Stickle W.F., Sobol P.E., Bomben K.D. Handbook of X-ray photoelectron spectroscopy. Chastain J. (ed.). Eden Prairie: Perkin-Elmer Corporation, 1992. 261 p.
  8. Grosvenor A.P., Kobe B.A., Biesinger M.C., McIntyre N.S. // Surf. Interf. Anal. 2004. V. 36. P. 1564–1574. https://doi.org/10.1002/sia.1984
  9. Biesinger M.C. // Surf. Interf. Anal. 2017. V. 49. P. 1325–1334. https://doi.org/10.1002/sia.6239

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Российская академия наук, 2025